光罩保護膜為透光度極高光學產品,用以防止異物黏附於光罩上,造成黃光製程之瑕疵。產品說明產品聯絡人其他相關產品.產品說明.用途.保護光罩;防止異物入侵 ...,MitsuiPellicle是一種用於光罩的防塵護膜,其膜厚度設計為透過選擇對微影製程中的各曝光波長均有耐光的膜材料來獲得高穿透率。,光罩護膜(Pellicle)是什麼?光罩護膜是一塊薄膜展開在框架上,保護光罩避免微塵的污染,防止微塵或其他外在物質被刻印在晶圓上。使用光罩護膜最主要有兩種目的,其一 ...,Pellicle是一個薄膜展開在框架上,以保護光罩避免微塵的污染。今日Pelli...
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