MitsuiPellicle是一種用於光罩的防塵護膜，其膜厚度設計為透過選擇對微影製程中的各曝光波長均有耐光的膜材料來獲得高穿透率。
Mitsui Pellicle是一種用於光罩的防塵護膜，其膜厚度設計為透過選擇對微影製程中的各曝光波長均有耐光的膜材料來獲得高穿透率。
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Mitsui Pellicle是一種用於光罩的防塵護膜，其膜厚度設計為透過選擇對微影製程中的各曝光波長均有耐光的膜材料來獲得高穿透率。