微影制程之《MaskReticle》篇(转)

2019年6月14日—光罩(土话叫光刻版),英文名叫Mask,也叫Reticle(因为早期的对位是十字线)。通常有5寸和6寸两种大小,5寸光罩主要用于5寸和6寸的FAB生产线,而6寸光罩主要 ...

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