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光罩/倍縮光罩. (Mask). 曝光. Exposure. 顯影. Development. 紫外光. 負光阻. 基片. 正光 ... ▫ 經由曝光製程將設計圖案轉移其上. ▫ 非常類似於塗佈在照相機上的光敏感 ...

2014年8月21日 — 工作原理 • 首先在晶片的表層上覆蓋一層感光材料(光阻)，當光源的平行光，經過以玻璃為主體的光罩膜，打在這層感光材料上，由於光罩上面有圖案，這些圖案 ...

光罩(MASK). 2.光阻(Coater). 3.曝光(Exposure). 4.顯影(Development). 蝕刻(ETCH). 1.濕蝕刻(Wet-ETCH). 2.乾蝕刻(DRY-ETCH). 光阻去除(PR remove). 將光阻去除後就是我們 ...

光罩. 一片印製有線路、元件圖案的透明石英玻璃。 正片光罩：線路部分透光（其餘部分不透光）. 負片光罩：線路部分不透光（其餘皆透光）. 影像呈現的形式. 回目次. (2)微影 ...

2021年2月23日 — 深耕既有市場，緊跟極紫外光微影製程拓展. 腳步，主推極紫外光光罩傳送盒(EUV Pod) 。 ... 除半導體三大領導廠，越來越多客戶評估採用. EUV技術，家登光罩類 ...

介➠ 光罩的原理區分為兩個領域： ➠ 1. 光罩的圖像可供轉印至晶片表面。 ➠ 2. 經由光阻劑的感光作用，將光罩的圖像轉印至晶片表面。 ... 光罩( Photomasking ) 簡介 設計 ...

2015年6月10日 — 光罩( Photomasking ) 製程簡介作者： 蘇漢儒光罩( Photomasking ) 簡介« 光罩的原理區分為兩個領域： « 1. 光罩的圖像可供轉印至晶片…

由 吳國裕 著作 · 2007 · 被引用 1 次 — 圖2.1 ITRS 半導體技術藍圖. 通常晶片製作所需的光罩數目與微影次數代表了該晶片的複雜程度，而整個IC 製程. Page 6. 6. 是否能向更小的特徵尺寸邁進，也有賴於微影製程 ...

微影術(Lithography)在半導體上製程上較狹義之定義，一般是指以光子束經由光罩(mask)對晶圓(Wafer)上之阻劑照射；以電子束、離子束經由光罩、圖規(Stencil)對阻劑照射 ...